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產品展示
產品名稱：光學3D表面輪廓儀
市場價：元
產品詳情
影像系統：1024×1024（2048×2048，2592×1944可選）
光學Zoom：1×，（0.75×，0.5×可選）
干涉物鏡：2.5×，5×，10×，20×，50×
XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電控
XY橫向分辨率：≤0.4μm
Z軸行程：≥100mm
Z向分辨率：0.1nm
單次Z向掃描范圍：10.3mm，厚度重復性≤1nm
Z向掃描速度：≥45μm/s
可測樣品高度：≥100mm
可測樣品反射率：0.05%-100%
水平調整：±5°
粗糙度RMS重復性：0.005nm
臺階高測量：準確度＜0.7%，重復性＜0.1% 1σ
主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、快速高效
光學Zoom：1×，（0.75×，0.5×可選）
干涉物鏡：2.5×，5×，10×，20×，50×
XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電控
XY橫向分辨率：≤0.4μm
Z軸行程：≥100mm
Z向分辨率：0.1nm
單次Z向掃描范圍：10.3mm，厚度重復性≤1nm
Z向掃描速度：≥45μm/s
可測樣品高度：≥100mm
可測樣品反射率：0.05%-100%
水平調整：±5°
粗糙度RMS重復性：0.005nm
臺階高測量：準確度＜0.7%，重復性＜0.1% 1σ
主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、快速高效
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